Vékony - C, N, CNx és CSix felületi rétegek létrehozása és jellemzése elektonspektroszkópiai és mikroszkópiai módszerekkel

Kovács, Imre ORCID: https://orcid.org/0000-0003-2014-678X (2020) Vékony - C, N, CNx és CSix felületi rétegek létrehozása és jellemzése elektonspektroszkópiai és mikroszkópiai módszerekkel. In: Termeljünk együtt a természettel - az agrárerdészet mint új kitörési lehetőség. Dunakavics könyvek (ISSN: 2064-3837), 3 (18). DUE Press, Dunaújváros, pp. 93-103. ISBN 978-615-6142-06-1ö, 978-615-6142-09-2

Text 2020-Termeljunk-egyutt-a-termeszettel-III.-DKK18.pdf - Published Version Available under License Creative Commons Attribution Non-commercial No Derivatives. Download (15MB)

Abstract

Felületek mechanikai és korróziós védelmére szokás kialakítani védőréteget. Széntartalmú kiindulási anyagok alkalmazásával vákuumkamrában grafitos, nanogyémánt (DLC) vagy ezek vegyes rétegei jöhetnek létre. Nitrogén tartalmú molekulákból (N2, NH3) kiindulva nitrid rétegek alakulhatnak ki. A két elem – C és N – együttes alkalmazását egy elméleti számítás motiválta. Ha az ún. b-C3N4 fázis alakul ki, akkor az a gyémántnál is keményebb réteg lehet. Kísérleteinkben grafit, N2, szilikon tartalmú vákuumolaj – pentafenil-trimetil-trisziloxan molekulákból hoztunk létre felületi rétegeket Si(100), KCl, avagy csillám lapokon. A mintákat egy másik vákuumkészülékben röntgenfotonelektron spektroszkópiai (XPS), pásztázóelektron (SEM), atomierő (AFM) és pásztázó alagút mikroszkópiai (STM), valamint infravörös spektroszkópi módszerekkel vizsgáltuk. Eredményeinket összehasonlítjuk a más fémegykristályok felületein egyéb módszerekkel létrehozott rétegek jellemző elektronspektroszkópiai adataival és felhasználási lehetőségeivel. It is very common to prepare protective layers against corrosion. With the application of different carbon containing starting materials it is possible to prepare surfaces with graphite, with nano-diamonds or their mixture. In the case of N2, NH3 nitride layers can be formed. Theoretical calculations motivated the usage of both two element together. When the so called b-C3N4 is formed, than it could be harder than diamond. We have successfully prepared surface coatings with graphite, N2, silicium containing vacuum oil ( pentaphenyl-trimetil-trisiloxan) in our experiments on Si(100), on KCl and on mica. The samples were then characterized by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS), by scanning electron (SEM), by atomic force (AFM) and by scanning tunneling microscopy (STM). The results and qualities of our data were compared with other characteristic results collected from other surfaces by similar methods

Item Type:	Book Section
Uncontrolled Keywords:	Eximer lézer; XPS; plazma; vákuumolaj; infravörös spektroszkópia Eximer laser; XPS; plazma; vacuumoil; infrared spectroscopy
Divisions:	Műszaki Intézet > Természettudományi és Környezetvédelmi Tanszék
Depositing User:	Gergely Beregi
Date Deposited:	08 Jul 2025 08:04
Last Modified:	08 Jul 2025 08:04
URI:	https://publication.repo.uniduna.hu/id/eprint/1238
MTMT:	31749253

Actions (login required)

View Item